报告题目:基于化合物半导体的微纳加工技术
报告时间:2017年12月13日(周三)上午,10:00-11:00
报告地点:必赢626net入口12教703
报告专家:哈尔滨工业大学王琮教授
报告内容简介:当前,射频集成电路的集成度与系统性能要求大幅度提升,特别是对在整个射频系统中占据主要地位的无源器件部分,那么如何在保证无源器件的性能得到提高的同时降低生产成本减小芯片尺寸成为当下急需攻克的一项技术难题。国内外现有研究方法大都是基于底层已开发出的元器件工艺方案通过对顶层芯片级的电路结构重新进行布局布线设计来进行整体性能优化,没有从最根本点出发。鉴于此,本项目拟首先从无源器件最底层基本元件电容和电感为切入点,以优化元件关键参数为目的,研究新型工艺流程,获取提升元件性能的具体可行性方案。然后基于已优化出的基本元件运用新颖的布局布线设计研究出具有高性能超小尺寸的集成无源器件和集成无源模块。
报告人简介:王琮,哈尔滨工业大学教授、博士生导师、韩国光云大学研究教授,IEEE高级会员。王琮教授发挥半导体加工优势,以化合物半导体无源/有源器件、高介电常数陶瓷材料、大功率发光二极管封装、智能物联网传感器、基于无线通信技术的疾病诊疗关键问题为研究背景,确立了若干具有持续发展潜能的方向,在电子器件设计与建模、半导体器件加工以及无线射频技术在生物医学等前沿方向取得了一系列具有国际影响的成果。开创了以超小型射频器件为研究基础的射频生物传感器设计新方向,攻克了射频生物传感器不可重复利用等关键技术难点,加速了生物医学与射频技术、半导体加工领域的融合。在本学科国内外权威期刊上发表学术论文200余篇,其中在Biosensors and Bioelectronics等国际权威期刊上发表SCI论文75篇,单篇论文最高影响因子7.476,已授权发明专利32项,曾经承担完成韩国国家、省部级科研项目10余项。双语主讲多门本科及研究生课程,指导硕士生4人、博士生8人。